洁净区压缩空气悬浮粒子检测记录表

洁净区压缩空气悬浮粒子检测 记录表 洁净区名称 检测 日期 年 月 日 报告日期 年 月 日 设备 名称 设备状态 □ 合格， 修正 系数： □ 不合格 采样时间 检测 标准 100 级： ≥ 0.5 μ m： ≤ 3500 个 /m 3、 ≥ 5μ m： 0个 /m 3； 10000 级： ≥ 0.5 μ m： ≤ 35 000 0个 /m 3、 ≥ 5μ m： ≤ 2000 个 /m 3； 100000 级： ≥ 0.5 μ m： ≤ 35 000 00个 /m 3、 ≥ 5μ m： ≤ 20000 个 /m 3； 300000 级： ≥ 0.5 μ m： ≤ 10500000 个 /m 3、 ≥ 5μ m： ≤ 60000 个 /m 3。 序 号 取样点名称 洁净 级别 采样 次数 (次 /点 ) 粒子 大小 (μ m) 检测 数据 (个 /m ³) 结果判定 1# 2# 3# 平均值 1 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 2 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 3 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 4 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 5 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 6 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 7 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 8 ≥ 0.5 □ 符合标准 □ 不符合标准 ≥ 5 备注 检测人（ QA/QC ） 、 年 月 日 复核人（ QA/QC ） 、 年 月 日