洁净室尘埃粒子检测标准操作规程
[目的]阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工
的检测操作。
[范围]适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作，
[责任]生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验
员。
[内容]
1.仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。
光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μms滤膜显微镜用于粒径≥5
um的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪
器说明书操作。
2.测定标准
活净度
悬浮粉子量 大愈诗数/全方 米(@)
级别
动态(0)
餐次
0.Sr med
0.51smed)
100级
3500
3500
一次/月
10000级
3500
1
350000
2000
一次/月
100000
350000
2000
3500000
20000
一次/月
300000
3500000
20000
不作规定
不作规定
3、测试方法
3.1仪器开机。预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。
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